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桌面式薄膜溅射沉积系统
仪器编号
2017444301
规格
真空度优于3*10-6Torr
生产厂家
英国Korvus Technology公司
型号
HEX-80
制造国家
(156)中国
分类号
03060307
放置地点
化院C402
出厂日期
2023-11-22
购置日期
2023-11-22
入网日期
2021-10-21
主要规格及技术指标
真空度优于3*10-6Torr。
主要功能及特色
高效、多功能的桌面型物理气相沉积系统，专为实验室环境中的小批量、快速薄膜样品制备而设计。
主要附件及配置
真空系统，沉积源系统，集成射频等离子体源，射频电源与匹配器，溅射靶材，样品台适配器与夹具。
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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