仪器分类
激光直写光刻机
激光直写光刻机
仪器编号
2024877603
规格
最小分辨率300nm
生产厂家
Raith
型号
PicoMaster ATE-100
制造国家
荷兰
分类号
放置地点
实验中心C105
出厂日期
2024-07-10
购置日期
2024-07-10
入网日期
2025-03-13

主要规格及技术指标

线宽尺寸:最小0.3微米
线宽均匀性:低于50纳米

主要功能及特色

主要附件及配置

公告名称 公告内容 发布日期