能量扫描范围5eV-1500eV,最小能量步长3meV;束斑面积从10μm至400μm聚焦连续可调,步长不超过5µm;通过能为1-400eV,连续可调
XPS 、紫外光电子能谱 (UPS)、反射电子能量损失谱(REELS)分析
氩离子刻蚀枪套件、自动化多轴样品台、超高真空测量装置功能、变角样品台、真空转移样品台、高温样品台、纤维样品台、粉末样品台等