仪器分类
HV方式: 分辨率(SEI):3.0nm(Acc.V30kV,WD8mm)
放大倍数:18~300000
图像方式:SEI,BEI
探测电流: 10pA~10μA
LV方式: 分辨率(BEI):4.5nm(Acc.V30kV,WD8mm)
样品室气压:可调准气压10~270Pa
最低气压:1Pa
图像方式:3种BEI方式(Composition Topographic and shaded image)
1. 二次电子图像、背散射电子图像,材料、生物、矿物、半导体等样品的形貌;金相样品、断口样品的表面形貌观察;空间分辨率亚微米级,晶界的状态测量,晶体/晶粒的相鉴定,晶体、晶粒取向测量等。
2. 元素定量、定性成分分析,实时微区成分分析,快速的多元素面扫描和线扫描分布测量
JED-2300型能谱仪
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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