仪器分类
扫 描 电 子 显 微 镜
扫 描 电 子 显 微 镜
仪器编号
200120050S
规格
组装
生产厂家
日本电子株式会社
型号
组装
制造国家
(392)日本
分类号
03040155
放置地点
19号楼科技馆一单元(光电)112
出厂日期
2001-11-01
购置日期
2001-11-01
入网日期
2021-10-21

主要规格及技术指标

HV方式: 分辨率(SEI):3.0nm(Acc.V30kV,WD8mm)
放大倍数:18~300000
图像方式:SEI,BEI
探测电流: 10pA~10μA
LV方式: 分辨率(BEI):4.5nm(Acc.V30kV,WD8mm)
样品室气压:可调准气压10~270Pa
最低气压:1Pa
图像方式:3种BEI方式(Composition Topographic and shaded image)

主要功能及特色

1. 二次电子图像、背散射电子图像,材料、生物、矿物、半导体等样品的形貌;金相样品、断口样品的表面形貌观察;空间分辨率亚微米级,晶界的状态测量,晶体/晶粒的相鉴定,晶体、晶粒取向测量等。
2. 元素定量、定性成分分析,实时微区成分分析,快速的多元素面扫描和线扫描分布测量

主要附件及配置

JED-2300型能谱仪

公告名称 公告内容 发布日期