电子镜筒分辨率3nm@30kV,8nm@3kV;视野范围不小于50mm,X及Y轴移动行程为80 (X)×60 (Y) mm
采用钨灯丝电子源,主要进行样品表面形貌和成分分析,分析尺度可至纳米级。
牛津EDS能谱仪,EBSD电子背散射衍射仪。