微焦斑转靶光源;最大输出功率≥800W;靶上焦斑≤Φ70μm;立式测角仪,采用光学编码器技术;测角仪半径≥300mm;2θ扫描范围≥0~160°;新型超高速二维硅像素探测器;微区微量测量单元;大尤拉环薄膜样品台;1500°C高温实验台
无