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仪器详情
多功能离子镀膜机
仪器编号
2023050802
规格
5*10-3Pa/400*350
生产厂家
辽宁纳太科技有限公司
型号
NT-04035
制造国家
中国
分类号
03060302
放置地点
海边实验室核学院106
出厂日期
2019-09-01
购置日期
2019-09-01
入网日期
2024-06-26
主要规格及技术指标
极限压强：5×10-3Pa，从大气压抽至5×10-3Pa，不加热，需3-4h；加热需要5-6h
主要功能及特色
用于功能薄膜的沉积和材料表面改性。
主要附件及配置
分子泵，机械泵；三个多弧靶头，一个磁控靶头；
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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